IMAGE SENSOR NMOSリニアイメージセンサ S3922/S3923シリーズ 電流積分型読み出し回路・インピーダンス変換回路を内蔵, 電圧出力型 NMOSリニアイメージセンサは、 マルチチャンネル分光光度計用の検出器として設計された自己走査型フォトダイオードアレイです。走査回 路は、 NチャンネルMOSトランジスタで構成され、 低消費電力駆動が可能なため、 取り扱いが容易です。各フォトダイオードの受光面積が大き く高い紫外感度をもつうえ、 雑音が極めて小さいので微弱な入射光に対してもS/Nの高い信号が得られます。 S3922/S3923シリーズは、 ビデオラインを利用した電流積分型読み出し回路およびインピーダンス変換回路を内蔵しています。扱いやすいボ ックス波形で信号出力しますので、 外付けの読み出し回路の構成が簡単になります。 S3922シリーズは50 μm × 0.5 mm、 S3923シリーズは25 μm × 0.5 mmのフォトダイオードが直線的に並んでいます。画素数は、 128 (S3922128Q)、 256 (S3922-256Q, S3923-256Q)、 512 (S3922-512Q, S3923-512Q)、 1024 (S3923-1024Q)のそれぞれ3種類ずつがあります。受光 窓は、 石英を標準品としています。 特長 用途 ビデオライン容量を利用した電流積分型読み出し回路 およびインピーダンス変換回路を内蔵 (ボックス波形出力) 広い受光面 画素ピッチ: 50 μm (S3922シリーズ) 25 μm (S3923シリーズ) 画素高さ: 0.5 mm フォトダイオードの紫外感度が高く、紫外線照射に対して 特性が安定している 低暗電流、大飽和電荷量のため、常温で長い蓄積時間と広い ダイナミックレンジが得られる 優れたユニフォミティ (感度の均一性) 低電圧・単一電源駆動が可能 スタートパルス、 クロックパルス、およびビデオライン リセットパルスは、CMOSロジックコンパチブル ■ 等価回路 マルチチャンネル分光測光 イメージリードアウトシステム ■ 受光部の構造 スタート st 2 デジタルシフトレジスタ (MOSシフトレジスタ) エンドオブスキャン ソースフォロア回路部 0.5 mm 1 Vdd アドレス スイッチ アクティブ ビデオ アクティブ フォトダイオード b Vss a 飽和コントロール ゲート 飽和コントロール ドレイン ダミー ビデオ アドレス スイッチ 酸化シリコン 1.0 µm クロック クロック リセット リセットV 1.0 µm N型シリコン リセットスイッチ部 400 µm ダミー ダイオード P型シリコン KMPDC0019JA S3922シリーズ: a=50 µm, b=45 µm S3923シリーズ: a=25 µm, b=20 µm ■ 絶対最大定格 項 目 印加電圧 入力パルス (φ1, φ2, φst, Reset φ)電圧 消費電力*1 動作温度*2 保存温度 *1: Vdd=5 V, Vr=2.5 V *2: 結露なきこと KMPDA0111JA 記号 Vdd Vφ P Topr Tstg 定格値 15 15 10 -40 ～ +65 -40 ～ +85 単位 V V mW °C °C 1 NMOSリニアイメージセンサ S3922/S3923シリーズ ■ 形状仕様 項 S3922S3922128Q 256Q 128 256 31.75 22 石英 3.0 目 画素数 パッケージ長 ピン数 窓材 質量 S3922512Q 512 40.6 S3923S3923256Q 512Q 256 512 31.75 22 石英 3.0 3.5 S39231024Q 1024 40.6 3.5 単位 mm g ■ 仕様 (Ta=25 °C) 項 目 記号 画素ピッチ 画素高さ 感度波長範囲 (ピークの 10 %) 最大感度波長 フォトダイオード暗電流*3 フォトダイオード容量*3 飽和露光量*3 *4 飽和電荷量*3 λ λp ID Cph Esat Qsat 飽和出力電圧*3 Vsat 感度不均一性*5 PRNU *3: リセット V=2.5 V, Vdd=5.0 V, Vφ=5.0 V *4: 2856 K, タングステンランプ *5: 飽和の 50%, スタート画素と最終画素を除く Min. - S3922 シリーズ Typ. Max. 50 0.5 200 ～ 1000 600 0.08 0.15 3.6 220 10 900 (-128Q) 670 (-256Q) 460 (-512Q) ±3 Min. - S3923 シリーズ Typ. Max. 25 0.5 200 ～ 1000 600 0.04 0.08 1.8 220 5 420 (-256Q) 280 (-512Q) 160 (-1024Q) ±3 単位 μm mm nm nm pA pF mlx • s pC mV mV mV % ■ 電気的特性 (Ta=25 °C) 項 目 記号 High Vφ1, Vφ2 (H) クロックパルス電圧 (φ1, φ2) Low Vφ1, Vφ2 (L) High Vφs (H) スタートパルス電圧 (φst) Low Vφs (L) High Vrφ (H) リセットパルス電圧 Low (Reset φ) Vrφ (L) ソースフォロア回路ドレイン電圧 Vdd リセット電圧 (リセット V)*6 *7 Vr 飽和コントロールゲート電圧 Vscg 飽和コントロールドレイン電圧*7 Vscd trφ1, trφ2 クロックパルス (φ1, φ2)上昇／下降時間 tfφ1, tfφ2 クロックパルス (φ1, φ2)パルス幅 tpwφ1, tpwφ2 スタートパルス (φst)上昇／下降時間 trφs, tfφs スタートパルス (φst)パルス幅 tpwφs リセットパルス上昇／下降時間 trrφ, tfrφ スタートパルス (φst)－クロック tφov パルス (φ2)間オーバーラップ クロックパルス (φ2)－リセット tφovr パルス (Reset φ)間オーバーラップ クロックパルス (φ2)－リセット tdφr-2 パルス (Reset φ)遅延時間 8 クロックパルス (φ1, φ2)スペース* X1 , X 2 クロックパルス (φ2, Reset φ)スペース tsφr-2 シフトレジスタ動作周波数*9 f 条件 S3922 シリーズ Min. Typ. Max. 4.5 5 10 0 0.4 4.5 10 Vφ1 0 0.4 4.5 10 Vφ1 0 0.4 4.5 10 Vφ 2.0 Vφ - 2.5 Vφ - 2.0 0 Vr - S3923 シリーズ Min. Typ. Max. 4.5 5 10 0 0.4 4.5 10 Vφ1 0 0.4 4.5 10 Vφ1 0 0.4 4.5 10 Vφ 2.0 Vφ - 2.5 Vφ - 2.0 0 Vr - 単位 V V V V V V V V V V - 20 - - 20 - ns 200 200 - 20 20 - 200 200 - 20 20 - ns ns ns ns 200 - - 200 - - ns 660 - - 660 - - ns 50 - - 50 - - ns trf - 20 trf - 20 ns 0 0 ns 0.1 500 0.1 500 kHz 100 (-128 Q) 100 (-256 Q) ns 飽和の ビデオ遅延時間 tvd 150 (-256 Q) 150 (-512 Q) ns 50%*9 200 (-512 Q) 200 (-1024 Q) ns 21 (-128 Q) 27 (-256 Q) pF 5V クロックパルス (φ1, φ2) 36 (-256 Q) 50 (-512 Q) Cφ pF バイアス ライン容量 67 (-512 Q) 100 (-1024 Q) pF 5V リセットパルス (Reset φ) Cr 6 6 pF バイアス ライン容量 12 (-128 Q) 12 (-256 Q) pF 5V 飽和コントロールゲート(Vscg) Cscg 20 (-256 Q) 24 (-512 Q) pF バイアス ライン容量 35 (-512 Q) 45 (-1024 Q) pF Vdd=5 V Zo 200 200 出力インピーダンス Ω Vr=2.5 V *6: Vφは入力パルス電圧 (「■リセット V 電圧マージン」参照)。 *7: リセット V と飽和コントロールドレインは 7 番ピンを共用しています。 *8: trf はクロックパルスの上昇／下降時間。クロックパルスの上昇／下降時間が 20 ns 以上かかる場合は (上昇／下降時間 - 20) ns 以上のクロックスパルススペースを入れてください(「■駆動回路のタイミング図」参照)。 *9: リセット V=2.5 V, Vdd=5.0 V, Vφ =5.0 V 2 NMOSリニアイメージセンサ S3922/S3923シリーズ ■ 外形寸法図 (単位: mm) S3922-128Q, S3923-256Q 6.4 ± 0.3 1.3 ± 0.2* 31.75 受光面 3.0 1.3 ± 0.2* 受光面 3.0 31.75 5.2 ± 0.2 5.2 ± 0.2 10.4 10.4 3.2 ± 0.3 5.2 ± 0.2 受光部 12.8 × 0.5 5.2 ± 0.2 受光部 6.4 × 0.5 S3922-256Q, S3923-512Q 0.51 0.25 0.51 0.25 2.54 2.54 25.4 10.16 25.4 10.16 * 石英窓の表面から受光面 までの寸法 * 石英窓の表面から受光面 までの寸法 KMPDA0108JB KMPDA0109JB ■ ピン接続 S3922-512Q, S3923-1024Q 5.2 ± 0.2 受光部 25.6 × 0.5 5.2 ± 0.2 10.4 12.8 ± 0.3 1.3 ± 0.2* 受光面 3.0 40.6 0.51 2 1 22 NC 1 2 21 NC st 3 20 NC Vss 4 19 NC Vscg 5 18 NC 6 17 NC リセットV (Vscd) 7 16 NC Vss 8 15 NC アクティブビデオ 9 14 NC ダミービデオ 10 13 エンドオブスキャン Vsub 11 12 Vdd リセット 0.25 Vss, Vsub, NCは接地してください。 2.54 25.4 10.16 KMPDC0025JA * 石英窓の表面から受光面 までの寸法 KMPDA0110JB 3 NMOSリニアイメージセンサ 端子名 入出力 φ1, φ2 入力 (CMOS ロジックコンパチブル) φst 入力 (CMOS ロジックコンパチブル) Vss - 機能、および推奨接続 MOS シフトレジスタを動作させるためのパルスです。ビデオ 出力信号は、φ2 に同期して得られるため、クロックパルス周 波数とビデオデータレートは同一になります。 MOS シフトレジスタの動作を開始させるためのパルスです。 スタートパルスの間隔と信号蓄積時間は同一となります。 フォトダイオードのアノードに接続されています。接地してく ださい。 ブルーミングの抑制に使用します。接地してください。 ハイレベルでビデオラインは “リセット V” 電圧にリセットさ れます。 リセットV 端子はビデオラインを経てアドレスオンで各フォト ダイオード・カソードに接続されます。フォトダイオードを逆 バイアスの状態で使用するためにリセットV 端子を正にバイア スします。φ1, φ2, リセットφの大きさが 5 V ならば、“リセッ ト V” 電圧は 2.5 V を推奨します。 “リセット V” と “Vscd” は 7 番端子を併用しています。 ブルーミングの抑制に使用します。“リセット V” と同一の印加 電圧を必要とします。 ビデオ出力信号です。内部で電流－電圧変換後、低インピーダ ンスで出力されています。負極性出力で DC オフセットがあり ます。 アクティブビデオと構造は同一ですが、フォトダイオードはあ りませんので DC オフセットのみが出力されます。必要としな い場合は、オープンにしてください。 シリコン基板に接続されています。接地してください。 内部のインピーダンス変換回路への供給電圧です。 各クロック振幅と同じ大きさの電圧を印加してください 10 kΩの抵抗で 5 V にプルアップしてください。負極性。最後 のフォトダイオードがアドレスされた次のタイミングのφ2 に 同期して現れます。 接地してください。 入力 入力 (CMOS ロジックコンパチブル) Vscg リセットφ リセット V 入力 Vscd 入力 アクティブビデオ 出力 ダミービデオ 出力 Vsub - Vdd 入力 出力 (CMOS ロジックコンパチブル) エンドオブスキャン NC - ■ 分光感度特性 (代表例) ■ 出力電圧－露光量 (Ta=25 ˚C) 0.3 S3922/S3923シリーズ 10 1 10 0 (Typ. リセットV=2.5 V, Vdd=5.0 V, V =5.0 V, 光源: 2856 K) 10 1 (Typ. リセットV=2.5 V, Vdd=5.0 V, V =5.0 V, 光源: 2856 K) 飽和出力電圧 100 10 -1 出力電圧 (V) 0.2 出力電圧 (V) 受光感度 (A/W) 飽和出力電圧 S3922-128Q S3922-256Q 10 -2 10 -1 S3923-256Q S3923-512Q 10 -2 10 -3 10 -4 S3922-512Q 0.1 S3923-1024Q 飽和露光量 10-3 0 200 400 600 800 1000 1200 波 長 (nm) 10 -4 10-5 10-4 10-3 NMOSリニアイメージセンサは、シリコンの単一基板上に MOSトランジスタから成る走査回路と、 フォトダイオードア レイ、各フォトダイオードをアドレスするためのスイッチン グトランジスタアレイが集積化されたものです。「■ 等価回 路」に回路構成を示します。 MOS走査回路は低消費電力型で、スタートパルスと2相の クロックパルスにより走査パルス列を発生し、各アドレスス イッチを順次オン状態にします。アドレススイッチは、フォ トダイオードをソース、ビデオラインをドレイン、走査パル ス入力部をゲートとするNMOSトランジスタにより構成され ています。 4 10-1 100 10 -5 10 -4 10 -3 10 -2 10 -1 10 0 露光量 (lx · s) 露光量 (lx · s) KMPDB0149JA ■ イメージセンサの構成 10-2 飽和露光量 KMPDB0120JA KMPDB0121JA フォトダイオード部は、電荷蓄積モードで動作するため、露 光量 (光の強さ × 蓄積時間)に比例した出力が得られます。お のおののセルは、アクティブフォトダイオードとダミーダイ オードから成り、それぞれスイッチングトランジスタを経て アクティブビデオラインとダミービデオラインに接続されて います。また、おのおののアクティブフォトダイオードは、飽 和コントロールゲートを経て飽和コントロールドレインにも 接続されているため、飽和コントロールゲートを接地するこ とにより、フォトダイオードのブルーミングが抑制されます。 また飽和コントロールゲートにパルス信号を加えることによ り一斉リセットを行うことも可能です 「 ( ■ 補助機能」参照)。 NMOSリニアイメージセンサ 「■受光部の構造」にフォトダイオード受光部の構造図を示 します。フォトダイオード部は、P 型基板とその上の N 型拡 散層から形成されています。信号電荷は、この PN 接合容量 に蓄積されます。N 型拡散層は紫外感度が高く、暗電流が小 さくなるように工夫されています。 ■ 駆動回路 シフトレジスタの駆動には、スタートパルス φst および 2 相クロックパルスφ1, φ2が必要です。スタートパルスおよび クロックパルスの極性はともに正であり、CMOS ロジック コンパチブルです。 2相クロックパルスφ1, φ2は、完全に分離していても相補な 関係にあっても構いませんが、両パルスが同時にハイになる 時間がないようにしてください。 φ1, φ2の上昇／下降時間が 20 ns 以上かかる場合は、 (上昇 ／下降時間 - 20) ns 以上のクロックパルススペース 「■ ( 駆動 回路のタイミング図」: X1, X2)を入れるようにしてください。 また φ1, φ2 とも、最低 200 ns の保持が必要です。フォトダ ■ 駆動回路のタイミング図 1 2 リセット ■ エンドオブスキャン エンドオブスキャン (EOS)は、10 kΩ の抵抗で EOS 端子を 5 Vにプルアップすることにより、最後のフォトダイオードが アドレスされた次のタイミングの φ2 に同期して現れます。 ■ リセット V 電圧マージン 12 tpw s V s (H) V s (L) V V V V イオードの信号は、 φ2の各立ち上がりに同期して現れるため、 クロックパルスの周波数とビデオデータレートは等しくなり ます。 スタートパルス φst の大きさは φ1, φ2 と同じであり、ハイ レベルでシフトレジスタが動作を始め、信号読み出しを開始 するため、スタートパルスの間隔と信号蓄積時間は等しくな ります。φst は、最低 200 ns の保持が必要で、φ2 と最低 200 ns オーバーラップしていなければなりません。さらに、シ フトレジスタを正常に動作開始させるためには、φst がハイ レベルの間に、φ2 は一度だけハイレベルからローレベルに 変化しなければいけません。各パルスのタイミングを「■ 駆 動回路のタイミング図」に示します。 tpw 1 1 (H) 1 (L) 2 (H) 2 (L) 10 tpw 2 リセットV電圧 (V) st S3922/S3923シリーズ Vr (H) Vr (L) tvd アクティブビデオ出力 エンドオブスキャン tr s 8 X. 電圧 トV ッ リセ 推奨 6 4 MA リセットV電圧範囲 tf s 2 st tr 1 MIN. tf 1 0 1 X1 5 6 7 8 9 10 クロックパルス振幅 (V) 2 t ov リセット 4 tf 2 X2 t ovr td r-2 ts r-2 tfr KMPDB0047JA trr KMPDC0026JA ■ 信号読み出し回路 S3922/S3923シリーズは、ビデオライン容量を利用した電 流積分回路およびインピーダンス変換回路を内蔵しています ので、信号読み出し回路を簡略化することができます。ただ し、NMOS リニアイメージセンサのアノードは 0 V (Vss)の ため、必ずビデオラインには正のバイアスを与えなければな りません。これを達成するためにはリセット φ 端子に適切な パルスを加えます。パルスの大きさは、φ1, φ2, φst と同一と します。 リセット φ をハイレベルにすると、ビデオラインはリセッ ト V 電圧に設定されます。 「■ リセット V 電圧マージン」にリ セット V 電圧のマージンを示します。クロックパルスの振幅 が大きい程リセット V 電圧を大きく設定でき、飽和電荷量を 大きくすることができます。また、リセットV電圧を小さく、 クロックパルス振幅を大きく設定すれば、ビデオ出力波形の 上昇／下降時間を短くすることができます。φ1, φ2, φst およ びリセット φ の大きさが 5 V ならば、リセット V 電圧は 2.5 V を推奨します。 また、安定した出力を得るためには、必ずリセット φ と φ2 のオーバーラップを設けてください。(φ2 ハイの間にリセッ ト φ は立ち上がるようにします。)さらに φ2 がローの間にリ セット φ は立ち下がる必要があります。 S3922/S3923 シリーズはともに、信号出力波形はリセット V=2.5 V の時で約 1 V の DC オフセットがあり、また負極性の ボックス波形になります。したがって信号処理前に、この DC オフセットを除去し、正極性出力に直す方が適当な場合、 「■読 、 「■ タイミングチャート」の信号読み出し回 み出し回路例」 路、パルスタイミングを推奨します。この場合Rsは必ず10 kΩ 以上を使用してください。また Rf/Rs でゲインが決まるため、 用途にあった Rf を選択してください。 5 NMOSリニアイメージセンサ ■ 読み出し回路例 S3922/S3923シリーズ ■ タイミングチャート +5 V +5 V + 10 kΩ st st 1 1 2 Reset +2.5 V Vdd 2 EOS ダミー ビデオ アクティブ ビデオ Rf EOS st OPEN 1 Rs 10 kΩ – 2 Reset + Reset V (Vscd) Vscg + Reset Vss Vsub +15 V NC KMPDC0028EA KMPDC0027JA ■ アンチブルーミング機能 部分的にでも飽和露光量以上の照射が行われる場合は、飽和電荷量を越えて信号電荷をフォトダイオードに蓄積させることは できないため、余分の電荷はビデオラインに溢れ出し信号の純度は劣化します。リセット V と同一の電圧を飽和コントロールド レインに与え、飽和コントロールゲートを接地することにより、余剰電荷は飽和コントロールドレインより排出されるため信号 の純度の劣化を避けることができます。入射光の強度が極端に強い場合は、飽和コントロールゲートを正にバイアスします。飽 和コントロールゲートに加えるバイアスが大きいほど過飽和電荷を制御する機能は高まりますが、飽和電荷量が低下しますので 適切なバイアス値を選択することが肝要です。 ■ 補助機能 1) 一斉リセットとしての動作 通常の動作では、フォトダイオードに蓄積されている電荷は信号読み出しによってリセットされますが、S3922/S3923シリー ズは信号読み出し以外の経路でフォトダイオード電荷のリセットを行うことができます。これは、飽和コントロールゲートに適 切なパルスを加えることにより達成されます。パルス電圧は、φ1, φ2, φst, リセット φ と同一、パルス幅は 5 μs 以上としてくだ さい。 飽和コントロールゲートがハイレベルに設定されると、 すべてのフォトダイオードは飽和コントロールドレイン電位に一斉に リセットされます。逆に飽和コントロールゲートがローレベル (0 V)に設定されると、リセット機能は働かず、フォトダイオー ドでは信号電荷の蓄積が行われます。 2) ダミービデオ S3922/S3923 シリーズは、ダミービデオラインを備えています。アクティブビデオラインとダミービデオラインの出力を差 動増幅することにより、DCオフセットを除去した正極性のビデオ信号を得ることができます。必要としない場合は無接続とし てください。 ■ NMOSリニアイメージセンサ使用上の注意 1) 静電気対策 NMOSリニアイメージセンサには静電気に対する保護がなされていますが、静電気による破壊を未然に防ぐために静電気防 止対策を実施してください。 2) 入射窓 入射窓ガラスの表面にゴミや汚れが付着しますと画像に黒キズとして現れます。使用する際は、ガラス表面を清掃してくだ さい。清掃時に、乾いた布や綿棒などでこすりますと静電気発生の原因となりますから、アルコールなどの有機溶剤を小量含 ませた柔らかい布、紙、または綿棒などでゴミや汚れを拭き取り、シミが残らぬよう圧搾気体を吹き付けてください。 6 NMOSリニアイメージセンサ S3922/S3923シリーズ 本資料の記載内容は、平成26年2月現在のものです。 ୋ͈ॽအ͉Ȃ٨ၻ͈̹̈́̓͛ထ̩࣬̈́་ࢵ̳̭̦̜̳ͥ͂ͤ͘ȃུၳ͉ୃ̹̳͛ͥܢͬږਹͅै଼̯̹͈̳̦ͦ́͜Ȃͦ͘ͅࢋܱ̈́̓ͥ͢ͅࢋ̦ͤ ̜ͥાࣣ̦̜̳ͤ͘ȃུୋͬঀဥ̳ͥष͉ͅȂຈ̴ොවॽအ̮ͬဥྵ͈ષȂड૧͈ॽအ̮̞̯̺̩ͬږȃ ොවॽအ̹͉͘ϋίσ̞̤̀ͅރȂ߿ྴ͈ྎͅॻॽအͬփྙ̳ͥĩřĪȂٳอॽအͬփྙ̳ͥĩśĪ̦ັ̩ાࣣ̦̜̳ͤ͘ȃ ུୋ͈༗બ͉ȂොවࢃIJාոඤ̦ͅอࡉ̯ͦḀ̑̾২̯̹ͦͅાࣣȂུୋ͈ਘၑ̹͉͘య͈ොවͬࡠഽ̱̳͂͘ȃ̹̺̱Ȃ༗બۼܢඤ̜́̽̀͜Ȃ ഛब̤͍͢ະഐ୨̈́ঀဥ֦̳ܳͥͅఅ͉̞̀̾ͅٺȂ২̷͉͈ୣ̵̞ͬͭ͘ȃ ུၳ͈ܱशඤယ̞̾̀ͅȂ২͈ݺౄ̱̈́ͅഢश̹͉͘ໝୋ̳̭̲̳ͥ͂ͬ͘ȃ ŸŸŸįũŢŮŢŮŢŵŴŶįŤŰŮ ୵రުאਫ਼ ಆ෨ުאਫ਼ ުאނਫ਼ ಎ໐ުאਫ਼ ఱिުאਫ਼ ୌུުאਫ਼ ɧĺĹıĮııIJIJ ɧĴıĶĮıĹIJĸ ɧIJıĶĮıııIJ ɧĵĴıĮĹĶĹĸ ɧĶĵIJĮııĶij ɧĹIJijĮııIJĴ ୵రঌဩߊષIJĮķĮIJIJġĩུྵ୵ర࢙൚రΫσijٴĪ ֟ઽࡇ̩̾͊ঌࡄڠݪŅķߊځĹْ౷ġĩࡄڠݪΑ·;ͿͺΫσĸٴĪ ނസࢽߊࡵΦĴĮĹĮijIJġĩࡵΦĴĴ૩ΫσĶٴĪ ຩઐঌಎߊग५ĴijĶĮķġĩུྵຩઐפஜΫσĵٴĪ ఱिঌಎ؇ߊհാijĮĴĮIJĴġĩఱि࣭षΫσIJıٴĪ ؖঌฎఉߊฎఉפIJĮIJĴĮķġĩಅ५ฎఉΫσĶٴĪ ࡥఘުאଔૺ໐ȁɧĵĴĶĮĹĶĶĹȁຩઐঌߊঌIJIJijķĮIJȁŕņōġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĴĴIJIJȁŇłřġĩıĶĴĪġĵĴĵĮĶIJĹĵ ŕņōġĩıijijĪġijķĸĮıIJijIJġġŇłřġĩıijijĪġijķĸĮıIJĴĶ ŕņōġĩıijĺĪġĹĵĹĮĶıĹıġġŇłřġĩıijĺĪġĹĶĶĮIJIJĴĶ ŕņōġĩıĴĪġĴĵĴķĮıĵĺIJġġŇłřġĩıĴĪġĴĵĴĴĮķĺĺĸ ŕņōġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJijġġŇłřġĩıĶĴĪġĵĶĺĮIJIJIJĵ ŕņōġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĵIJġġŇłřġĩıķĪġķijĸIJĮıĵĶı ŕņōġĩıĺijĪġĵĹijĮıĴĺıġġŇłřġĩıĺijĪġĵĹijĮıĶĶı Cat. No. KMPD1037J03 Feb. 2014 DN 7