!" MPXH SSOP 1980 ! MEMS !"#$%&'( !"#$%&'() !"#!$%&'()*+ • • -40 C +125 C !"#$ !"# !"#$%&'( !"#$%#&' !"#$ !"# CMOS ! !"#$%&'() o • • • !"# 300 kPa o PPS o • !"#$%&' ! • !"#$%&BAP • ! !"#$ • !"#$%&'((MAP) • !" !"#$%!"&'()*+ • !"#$%&'( !"#$% ! !"#$% !"#$%&' *+ TPM !"SSOP • 0 C +85 C o #$%& • ! • • ! • MPXH SSOP ! ! kPa V mV/kPa MPXH6101A 102 4.6 54 MPXH6115A 115 4.6 46 MPXH6300A 300 4.7 16 MPXV MPXA MPX5000 SOP MPXA(z)4000 • !"# 250 kPa • !"#$%&'( • PPS • !"#$%&' • BAP • ! • MAP • !" • -40 C +125 C o MPXV MPXA SOP o • • !"#$ !"# !"(SOP) ! #$%& !"#$%&'( *2004 !"#$%&'()*+,-./#$%0 ! • ! • !"#$ • !"#$%&'()* • !"#$%& MPXM MPAK MPXM • !"# 200 kPa • 0 C +85 C • 40 mV !" o o !"#$ • !" # • !"#$%& MPAK !$%& • !"# $ !"# !$ • ! • • ! • !" SMT • ! • !"# • • !" • !"# • !" • !" • !"# • ! • !"# • ! #$%& ! MPXM2010 ! kPa mV 10 25 mV 1.0 0.8 mV/kPa 2.5 MPXM2053 50 40 1.0 MPXM2102 100 40 1.0 0.4 MPXM2202 200 40 1.0 0.2 !"" Chip Pak • !"# 300 mm Hg • !"#$% ! Class VI (6 ) • !" !"#$%& !"'() • !"#$ SMT • !"#$% !"#$ • • !" !"#$ PAK !"#$%&' ! • !"#$% • !"# • • !"#$ !"# • • ! !"# • !"#$%&'( ! ! kPa ! mm Hg ! MPXC2011DT1 10 75 !" MPXC2012DT1 10 75 ! MPX2300DT1 40 300 !" MPX2301DT1 40 300 !" ! !"#$%&'()*+,-./ www.freescale.com.cn/sensors ! TMFreescaleTM and the Freescale logo are trademarks of Freescale Semiconductor, Inc. All other product or service names are the property of their respective owners. ©Freescale Semiconductor, Inc. 2008 !MICROMACHINFS REV 2