株式会社ニューフレアテクノロジー サイトレポート情報 所在地(本社):神奈川県横浜市港北区新横浜3-2-6 新横浜ビジネスセンタービル10F 敷地面積 :787.84m2(延床面積)/9,10階 :2007年10月、会社正規従業員数:500人(2013年3月末現在) 設立 本社(9,10階) 所在地(沼津事業所):静岡県沼津市大岡2068-3 敷地面積 :11,809.7m2、建屋面積 7,637m2、緑化率(対象外) :2002年8月 設立 沼津事業所 所在地(横浜事業所):神奈川県横浜市磯子区新杉田8 敷地面積 :19,965m2、建屋面積 9,790m2、緑化率21.35% :2007年3月 設立 主要製品:マスク描画装置、マスク検査装置、エビタキシャル成長装置 ISO14001認証取得登録:1996年2月、最新更新年月:2010年8月、 有効期限:2013年8月、ISO14001認証番号:EC98J2014 横浜事業所 ごあいさつ 株式会社ニューフレアテクノロジーは、半導体デバイスの微細化・高機能化 に必要な電子ビームマスク描画装置やマスク検査装置、エピタキシャル成長 装置の開発、製造、販売を手掛けております。 最先端の半導体製造装置を通じて、豊かな価値を創造し、社会の発展に貢献 できるよう努めます。 環境保全責任者 重光 文明 2012年度の環境の主な取組み ☆環境配慮型製品の創出・社会への提供 EBM-9000のECP評価実施・登録。ECP売上比率100% (目標達成) ☆地球温暖化防止の推進 ①エネルギー原単位、基準年度比45.8%(目標50.5%以下) (目標達成) (目標達成) ②CO2排出量基準年度比105%以下 実績103.9% ☆資源の有効利用促進 廃棄物の削減(新規施策検討) 有価売却拡大による廃棄物量削減(144kg) ☆環境リスクの低減 東芝総合監査評価の向上(環境管理レベルの継続的改善) ☆社会貢献活動および環境コミュニケーションの推進 ボランティア活動への参加。環境情報の発信(HP情報)等 ☆環境意識の向上 環境関連月間行事に合わせた社内啓蒙実施。環境教育受講100% 製品・環境技術開発、環境配慮ポイントの紹介 当社では製品アセスメントにより新製品の環境負荷の低減を 積極的に進めています。 主力製品のEBM(電子ビームマスク描画装置)では、マスク 描画時の消費電力(注1)を世代ごとに順次削減しています。 当社の環境配慮型製品(ECP)基準に適合する製品の企画・ 開発を行い、販売する装置のECP比率100%を目指しています。 注1:同一条件のマスクを描画する際に消費する電力 東芝グループサイト情報2013(2012/4/1~2013/3/31) 1 環境方針 東芝グループサイト情報2013(2012/4/1~2013/3/31) 2 環境負荷データ エネルギー使用量(単位:kL) CO2排出量(単位:トンーCO2) 4,000 3,500 3,000 2,500 2,000 1,500 1,000 500 0 5,000 4,500 4,000 3,500 3,000 2,500 2,000 1,500 1,000 500 0 2009 電力 2010 都市ガス 2011 2012 LPG 2009 重油 廃棄物総発生量(単位:トン) 2010 2011 2012 廃棄物最終処分量と最終処分率(単位:トン、%) 100 80 60 40 20 0 2009 2010 2011 2012 主な廃棄物名:廃アルカリ、廃酸、廃プラスチック、金属くず類 など 水の使用量(単位:千m3) 排水量(単位:千m3) 25 25 20 20 15 15 10 10 5 5 0 0 2009 2010 市水 工水 2011 地下水 2012 2009 2010 2011 2012 (*)2011年度以前の数値は計測器不具合のため参考値 化学物質削減対象物質の取扱量(トン) 化学物質削減対象物質の排出量(トン) 0.6 0.07 0.5 0.06 0.4 0.05 0.3 0.04 0.03 0.2 0.02 0.1 0.01 0.0 2009 2010 PRTR対象物質 2011 2012 PRTR対象外の物質 0.00 2009 2010 PRTR対象物質 2011 2012 PRTR対象外の物質 主な化学物質: エチルアルコール、硫酸など 東芝グループサイト情報2013(2012/4/1~2013/3/31) 3 遵法管理状況 <大気測定結果> (沼津事業所、横浜事業所:対象外) 法規制値 自主管理値 実測値 測定頻度 NOx(ppm) 対象外 - - - SOx(Nm3/h) 対象外 - - - ばいじん(mg/Nm3) 対象外 - - - <排水測定結果> (沼津事業所:対象外、横浜事業所:浄化槽-聖天川へ放流) 規制値 自主管理値 実測値 測定頻度 水素イオン濃度(pH) 対象外 - - - BOD(mg/㍑) 対象外 - - - COD(mg/㍑) 対象外 - - - SS(mg/㍑) 対象外 - - - 窒素(mg/㍑) 対象外 - - - フッ素(mg/㍑) 対象外 - - - <騒音・振動測定結果> (沼津事業所、横浜事業所:対象外) 測定場所:時間 規制値 自主管理値 実測値 測定頻度 敷地境界:昼 対象外 - - - 敷地境界:夜 対象外 - - - 敷地境界:昼 対象外 - - - 敷地境界:夜 対象外 - - - 騒音(dB) 振動(dB) <その他測定結果> 規制値 自主管理値 実測値 測定頻度 水素イオン濃度(pH) 対象外 - - - BOD(mg/ℓ) 対象外 - - - SS(mg/ℓ) 対象外 - - - <環境事故・指導指摘・苦情の有無> 状況 環境事故発生の有無 なし 工場周辺や地域での環境問題発生の有無 なし 行政からの指導・指摘の有無 なし 近隣住民からの苦情の有無 なし 東芝グループサイト情報2013(2012/4/1~2013/3/31) 4 環境コミュニケーションの紹介 <環境一斉アクション> 6月5日の環境の日に合わせ東芝グループグローバルで一斉に 実施した「環境一斉アクション」に参加し、横浜事業所の看板照明 の消灯を実施しました。 (実施概要) ・日時:2013年6月5日 19:30~20:30 ・事業所の広告看板消灯 ・定時退社呼びかけによる事務所電灯の節約 ※2012年の夏至および七夕ライトダウンキャンペーンにも参加 消灯前 消灯後 <富士山植樹祭> 宝永噴火によって失われた森林であった場所が大砂礫地となり 崩壊している事を緑化によって防ごうという運動。 富士山ナショナル・トラスト主催による活動に、東芝機械と一緒に 毎年参加しています。 (実施概要) ・日時:2012年4月29日 場所:富士山御殿場口 ・参加人数:10名(当社参加者。家族含む) <環境美化ボランティア> 沼津事業所 環境月間および沼津市の「市内一斉クリーン週間」への参加。 東芝機械と年2回、工場周辺美化ボランティアを実施しています。 (実施概要) ・日時:2012年6月2日 (当社参加者 13名、家族含む) 11月17日 (当社参加者 9名、家族含む) <JR新杉田駅周辺および工場周辺清掃活動> 横浜事業所 半年に一度、新杉田駅の周辺の清掃活動を行っております。 また、毎月、東芝横浜事業所と協働で、工場周辺の清掃活動 を行っております。 (実施概要) ・日時:2012年7月17日(10名) 12月26日(10名) ・場所:新杉田駅周辺 ・工場周辺清掃活動は、東芝横浜事業所と協働し、 毎月第一月曜日の昼休みに実施 東芝グループサイト情報2013(2012/4/1~2013/3/31) 5