春 半日がかりの測定をわずか2、 3分に短縮。 しかも信頼性の高い測定を実現 カンタウルス 絶対PL量子収率測定装置 UVランプ式ライン照射の常識を覆す！新時代の光源登場！ リニア照射型UV-LEDユニット LIGHTNINGCURE LC-L5 第2回 ナノインプリント グレーティング形成技術 不思議なナノホトニクスの世界 第4回 プラズモニクス［後編］ photo：浜松まつり会館（浜松市南区）と絶対PL量子収率測定装置 Quantaurus-QY キューワイ 半日がかりの測定をわずか2、3 分に短縮。 しかも信頼性の高い測定を実現 カンタウ ル ス キューワイ 絶対PL量子収率測定装置 有機 EL や白色 LED をはじめとする材料開発の最前線で、量子収率を絶対法で測定する画期 的な装置が完成しました。 「Quantaurus-QY」。絶対法による発光量子収率測定は 1950 年代か ら評価法が提唱され、多くの研究者から実用化が望まれていた発光量子収率の測定手法。日本 がリードする「エコ」をキーワードとした最先端の発光材料開発において、不可欠なツールとな りつつある測定技術の裏側を、開発に携わった 4 名に聞きました。 左から システム事業部 システム営業推進部 国内グループ システム事業部 第 4 設計部 第 8 部門 システム事業部 第 4 設計部 第 8 部門 システム事業部 第 4 設計部 第 8 部門 01 HAMA HOT! 渡邉 裕彦 鈴木 健吾 増岡 英樹 井口 和也 量子収率測定の潜在ニーズと マルチチャンネル検出器のシーズの出会い イの有力候補として注目され始めたころで、量子収率測定装置の潜 そもそも、どうしてこういう開発を 始めることになったのですか？ 在的ニーズは大いにあると判断しました。 井口 きっかけは 2005 年に蛍光寿命測定装置とマルチチャンネル 分光器を使っていただいていた千歳科学技術大学（当時）の安達千 波矢先生（現在は九州大学）から、有機 EL 薄膜用の量子収率測定 器を作れないかというお話をいただいたことです。発光材料の開発 では、発光材料自体の発光効率の改善が不可欠で、そのために発 光量子収率の正確な測定方法が求められていました。ところがこの ころの多くの測定装置は、相対法と呼ばれる基準サンプルを使用し た、時間のかかる測定方法が主流。安達先生のアイデアから、マル チチャンネル分光器を使った、絶対法での発光量子収率測定装置 の開発に踏み出すことになりました。 増岡 弊社側では PMA-11 探っていたところで、安達 先生からいただいた量子収 Intensity [Normalized] 出器を開発し、応用分野を 400 500 600 700 800 900 Wavelength [nm] 用 途として 適 切であると。 有機 EL が、発光効率の高 い照明や次世代ディスプレ 用途を絞って一体化、コンパクト化を図ることにしました。結果、生 まれたのが「Quantaurus-QY」です。 どのようなところで役立つのですか。 に研究されており、たとえば次世代照明やディスプレイ、LED など の発光効率を上げることで、より消費電力が少なく、環境に優しい パラメータですので、この分野の研究をする人は絶対に知りたいこと なのです。 の鍵となるリン光材料の研 マルチチャンネル検出器の 発光量子収率だけ知りたい人には使い勝手が悪いですよね。そこで 鈴木 量子収率や蛍光寿命は発光材料にとって不可欠な光物理的 0 機 EL の、発光効率の向上 究が盛んに行われており、 どは研究者自身が手掛けなければなりません。これではサンプルの 暮らしを実現できます。 0.5 率測定器の開発がマッチす ると考えました。当時、有 味マニアックな作りで、汎用性が高い代わりに装置の複雑な調整な や温暖化など環境やエコに対する社会の意識が高まるにつれて盛ん Ir(Fppy)3, ΦP=0.97 Ir(ppy)3, ΦP=0.89 Btp2Ir(acac), ΦP=0.32 1 の前モデルである「C9920」を開発しました。 「C9920」はある意 井口 有機 EL をはじめとする先端の材料研究分野です。異常気象 有機 LED 用リン光材料のリン光量子収率 というマルチチャンネル検 鈴木 そこでまず安達先生のアイデアをもとに「Quantaurus-QY」 N N N Ir Ir F 3 3 Ir(ppy)3 Ir(Fppy)3 F Ir S 2 Btp2Ir(acac) [ データ提供 ] 九州大学未来化学創造センター 安達研究室、 群馬大学大学院 工学研究科 飛田研究室 との共同研究 渡邉 当初は有機 EL の研究者やメーカーをターゲットにしていまし たが、開発を進めるうちに、材料に限らず広く化学の基礎研究に役 立てていただけることがわかってきました。頭で理解しているだけの パラメータを実際に計測して確認したりもできますから、化学の研究 室ごとに 1 台ずつ普及するというのも夢ではありません。 HAMA HOT ! 02 半日がかりの測定をわずか2、3分に短縮。 しかも信頼性の高い測定を実現 カンタウ ル ス キューワイ 「Quantaurus-QY」の性能を裏付けているものは何ですか。 絶対PL量子収率測定装置 増岡 マルチチャンネル分光器の性能です。この分光器は、センサに固 体事業部の高感度・高精度の裏面入射型 CCD を採用し、さらに効率の 絶対法の採用と全社技術の集結で 信頼性と利便性を実現 良い光学系と組み合わせることで性能を発揮しています。 井口 「Quantaurus-QY」は、電子管事業部で開発した安定性の高いキ セノンランプと固体事業部のセンサを採用し、全体をシステム事業部でま 「Quantaurus-QY」の特徴はどこにあるのでしょうか。 とめ上げています。社内の技術を総動員し各々の特性を活かした設計が 可能であった点が大きく貢献しています。 鈴木 絶対法を採用していることです。弊社で量子収率測定装置を手掛ける 前は、ほとんどの測定装置は相対法を採用していました。相対法とは、量子 収率の値がわかっている「基準サンプル」と、計測したいサンプルを同条件の もとに測定し、両者を比較して量子収率を求める方法で、溶液しか測定できま せん。有機 ELなどは「固体」ですから、相対法では溶液に溶かして測定しな ければならず、信頼性に問題がありました。また、異なる測定装置を使った結 果では量子収率の違いを比較できず、研究者のストレスになっていました。 井口 私たちは安達先生の薄膜測定のアイデアに加えて積分球の使い方 を工夫し、薄膜、固体、粉末、結晶と溶液いずれのサンプルにも対応可 能な絶対発光収率測定装置を検討しました。これで溶液でしか存在しな い基準サンプルを計測し、教科書に出ている量子収率値と同じ値を出せ れば、信頼性が証明できると考えました。 鈴木 信頼性の検証にあたっては、群馬大学の飛田成史先生の全面的 なバックアップをいただきました。飛田先生は発光量子収率測定をはじめ とした分光計測のエキスパートで、弊社の装置から出る値が正しいかどう かを、さまざまな方法で検証していただきました。 製品名「Quantaurus-QY」の由来 「Quantaurus-QY」という一風変わった名称は、量子を指す「Quantum（カンタム） 」 、 開発上、苦労したところは？ 井口 「Quantaurus-QY」は先行モデルの「C9920」の用途を発光収率 測定に特化し、ワンパッケージ化したものです。これによって使い勝手を 向上し、スイッチを押すだけで測定できる という高い利便性を提供しようと考えまし た。ところが、私たちにとってワンパッケ ージ化は初めての試みで、いろいろと苦労 することになりました。 先行モデル「C9920」 増岡 設計面では「C9920」のコンポーネントを1つの筐体に組み込む必 要がありました。当然、組み込みを意識していないコンポーネントもあり、中 でもキセノンランプを格納するランプハウスには苦労しました。まずランプの 安定性を確保するために、最適な温度を維持する熱設計が必要でしたが、こ れが難題で……。その上、組み込みにするとランプ交換の際に必要となる光 軸調整もできなくなりますので、調整しなくてもよい構造を検討する必要があ りました。いずれも電子管事業部との連携なくして解決できない問題でした。 姉妹製品「Quantaurus-Tau」 絶対法で量子収率を計測する「Quantaurus- 蛍光寿命値の単位である「τ （タウ） 」、 そしてギリシャ神話の「Centaur（ケンタウロス） 」 QY」の姉 妹 製 品が、蛍 光 寿 命を測 定する の 3 つの言葉の組み合わせでできています。頭が人間、身体が馬のケンタウロスは、 「Quantaurus-Tau」 。同じサンプルに対して両方 蛍光寿命と量子収率の双方が計測できる装置の象徴です。 の装置で測定ができますので、研究室に 2 台 並べてご利用ください。 03 HAMA HOT! 絶対量子収率測定手法の発案者 安達先生より 昨年11月の発表以来、ユーザーからどんな評価が寄せられていますか。 有機 EL の発光材料の特性を理解する上で、発 渡邉 私たちが開発を始めた 5 年前の時点でも、量子収率の測定は半日 光量子収率は極めて大切な物理量です。2004 がかりが当たり前でした。その上、出てきた値が正しいかどうかわからない。 年の冬、北海道の雪景色の中で、河村祐一郎 ところが「Quantaurus-QY」なら、1つのサンプルの測定が 2、3 分で済み 博士（現出光興産（株） ）と私は、高効率発光を ます。しかも文献に載っている基準サンプルと同じ値が得られますから、そ 可能にするリン光材料の絶対量子収率の正確な の事実を目の当たりにした時の研究室の反応に、 確かな手応えを感じました。 値を求めるために、発光量子収率の計測装置の 開発に取り組みました 1)。Ir(ppy)3 が 100％近い 鈴木 基準サンプルを使う相対法は、時間がかかる上に、基準サンプル 量子効率を示すことを明らかにしたときの感動 の値が間違っていると、その基準サンプルを使って測定した測定値すべ は今でも忘れることができません 2)。有機材料 てに影響を与えてしまいます。ところが絶対法で測定する「Quantaurus- の光物性を理解する上で、発光量子効率や発光 QY」にはこのリスクが全くありません。またマルチチャンネル検出器と積 寿命の計測は、今後も大きな力となるでしょう。 九州大学 最先端有機光 エレクトロニクス 研究センター 安達 千波矢 先生 分球の組み合わせで、薄膜、固体、粉末、結晶と溶液の測定が可能に なりましたので、使い勝手は圧倒的に良くなっています。 渡邉 この装置が普及していく上で一番ありがたいのは、多くの研究者が 「Quantaurus-QY」を使って研究成果を出し、世の中に発表してくれることです。 「Quantaurus-QY」は 2011年 2 月から納入が始まりました。お客様が実際に 1) Simple Accurate System for Measuring Absolute Photoluminescence Quantum Efficiency in Organic Solid-State Thin Films, Jpn. J. Appl. Phys., 43, 7729-7730 (2004), Y. Kawamura, H. Sasabe and C. Adachi 2) 100% phosphorescence quantum efficiency of Ir(III) complexes in organic semiconductor films, Appl. Phys. Lett., 86, 071104 (2005), Y. Kawamura, K. Goushi, J. Brooks, J. J. Brown, H. Sasabe and C. Adachi 使った感想やご要望をよく聞いて、今後の開発に結び付けていきたいと考 えています。 お問合せ システム事業部 システム営業推進部 〒 431-3196 静岡県浜松市東区常光町 812 TEL：053-431-0150 FAX：053-433-8031 E-mail：[email protected] HAMA HOT ! 04 リニア照射型 UV-LED ユニット 光量のばらつきを抑えた紫外線を、 広範囲に照射できる UV-LED 光 源です。高光量・高安定・長寿命 を実現し、チラー設備や排気ダク ト工事も必要としないため、初期 導入費削減と、さらなる省スペー ス化に貢献します。 用途 UVインクの乾燥 UVコーティング剤の乾燥 UVテープ剥離 UV 接着 デジタル家電製造 蛍光励起／キズ検査用照明 従来のランプ方式では困難だった新しい生産プロ セスを実現でき、UV 印刷装置・各種生産設備へ の導入が進められています。 05 HAMA HOT! 仕様 L11403-1104 項目 照射エリア（1） L11403-2104 L11403-1112 105 × 10 紫外線照射強度（2） ピーク波長 L11403-2112 単位 305 × 10 mm 1000 1200 1000 1200 mW/cm2 365 ± 5 385 ± 5 365 ± 5 385 ± 5 nm ［NOTE］ （1）照射距離2 mm にて照射強度が 80 ％以上あるエリア （2）照射距離2 mm、照射エリア内にて点灯5分後 ※ご希望の仕様がございましたらお気軽にご相談ください。 特長 広範囲均一照射 照射エリア 5 mm Y 10 mm X 100 相対光出力 （％） 2 mm Z 80 60 40 20 80 60 40 20 0 -200 -160 -120 -80 -40 LC-L5 Y 方向 120 100 0 40 80 120 160 200 0 -40 照射面中心からの距離（mm） UVランプ式 -30 -20 -10 0 10 20 30 40 照射面中心からの距離（mm） 70 60 照射強度分布（代表例：L11403-2112） 50 40 30 20 10 0 0 5000 10000 15000 動作時間 （h） 20000 中心からの距離（mm） 相対光出力 （％） 80 X 方向 120 寿命特性 100 90 Z : 出射端からの距離 Z=5 mm Z=10 mm Z=2 mm 相対光出力 （％） ダクト工事不要・チラー設備不要 大幅なメンテナンスコスト削減 スペースを気にせず自由にレイアウト 体積 約 90％削減（UV ランプ式と比較） 環境負荷低減 （A） 低消費電力 約 1/30 （UV ランプ式と比較） （B） CO2 排出量 約 2 万 kg 削減／年 安定した出力精度 長寿命でランニングコスト削減 1000 - 1200 mW/cm2 800 - 1000 mW/cm2 600 - 800 mW/cm2 400 - 600 mW/cm2 200 - 400 mW/cm2 0 - 200 mW/cm2 ※出射端から2 mmの距離の光量 （at 385 nm） 7.5 4.5 1.5 -1.5 -4.5 -7.5 -150 -140 -130 -120 -110 -100 -90 -80 -70 -60 -50 -40 -30 -20 -10 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120 130 140 150 中心からの距離（mm） ［NOTE］ （A）1 日あたりの稼働時間（LC-L5）のデューティー比を考慮した値 （B）CO2 排出量は、0.555 kg/kWh にて算出（地球温暖化対策の推進に関する法律施行令 第三条に基づいた値） オプション（別売） 電源 ････････････････････････ 光源を駆動 外部制御用ケーブル ･･････ 光源とコントロール BOX を接続 コントロール BOX･････････ 光源の点灯制御、光量調整 お問合せ 電源ケーブル･･･････････ 光源と電源を接続 UV パワーメータ ･･････ 光源の照射強度を測定 営業本部 国内統括部 ※お問合せ先の詳細につきましては、冊子裏面をご覧ください。 HAMA HOT ! 06 第2回 ナノインプリントグレーティング 形成技術 親指サイズのミニ分光器として昨年リリースさ れた超小型ミニ分光器。その “小型化”に大き く貢献したのがナノインプリントグレーティング 形成技術です。レンズの曲面上に薄さ2～3 μmのグレーティングを作るミクロのマジックを のぞいてみましょう。 原 理 曲面上に薄さ2～3μmの グレーティングを作る ミクロのマジック グレーティング（回折格子）とは、いろいろな波長が混ざった白色光を波長ご グレーティングの仕組みと ナノインプリントグレーティング とに分ける分散光学素子のことです。身近なところではプリズムがあります。 プリズムが各波長の屈折率の違いを利用して分光するのに対して、グレーティ ングは光の干渉を利用して分光しており、高い分散安定性を特徴としています。 CMOSイメージセンサ 入射光 浜松ホトニクスは親指大という超小型ミニ分光器を実現するため、レンズの曲 貫通スリット バンプ電極 ガラス配線基板 超小型ミニ分光器（下） の分光のしくみ 07 HAMA HOT! 回折光 面上にグレーティングを形成する技術を確立しました。 ナノインプリントによるグレーティングの拡大写真 レンズ １μm 特徴 ナノインプリントグレーティングが 超えてきた数々の課題 1 nm オーダーの微細なピッチ制御 レンズ上に直接ナノインプリントグレーティングを形成することにより光学系の部品点 数を少なくできるため、従来の光学系と比較して超小型ミニ分光器は、超小型化、高 い量産性を誇ります。これらを実現するため、レンズ曲面上にグレーティングを形成す 「UV ナノインプリントグレーティング」手法 STEP1 る上で、いくつかの課題を超えなければなりませんでした。そのひとつが曲面から反射 する光を平面であるイメージセンサ上に確実に結像させることです。そのためにグレー マスター型 レプリカ樹脂を 凸レンズに塗布 ティングの格子のピッチをnmオーダーという非常に微細なレベルで変化させています。 2 凸レンズ STEP2 レンズの曲面上に厚さ2 ～3μm のグレーティングを形成 この微細なグレーティングをレンズ曲面上に形成する方法として、あらかじめマス ター型を製作し、これを凸レンズ上に塗布した樹脂に押し当て、紫外光で硬化する UV Light 「UV ナノインプリントグレーティング」という手法を採用しました。良好な光学特 紫外光により樹脂を硬化 性を得るために、形成するグレーティングの厚さは 2～3 μmとし、熱による影響 を極力排除しています。 3 STEP3 離型により グレーティングが形成 難易度の高いノコギリ歯型の断面形状を実現 グレーティングの断面形状は分光器の感度を最大化する観点からノコギリ歯型（ブ レーズド型）を採用。これがグレーティング形成の難易度をさらに上げましたが、 マスター型の製作の際、イオンビームエッチングを用いることで、曲面全体にわたっ てノコギリ歯型のグレーティングを形成することに成功しました。 今後 可視光から近赤外領域へ 超小型ミニ分光器の可能性を拡大 親指サイズの超小型ミニ分光器の登場によって、従来、研究室内で使われてきた 分光器が携行可能となり、応用範囲が拡大してきました。現在、弊社が提供する 超小型ミニ分光器は可視光に対応したものですが、今年中には近赤外向けの製品 も発売予定です。従来品のグレーティングや光学系の再設計を通して、お客様の ご要望に沿った製品を提供してまいります。 超小型ミニ分光器に関するお問合せは 営業本部 国内統括部 右記までお願いいたします。 ※お問合せ先の詳細につきましては、冊子裏面をご覧ください。 HAMA HOT ! 08 不思議なナノホトニクスの 解説：浜松ホトニクス 中央研究所 材料研究室 廣畑 徹 第 4 回 プラズモニクス［後編］ 前回の［前編］では、ナノレベルの金属表面に光を当てた ときに、その金属表面には光と自由電子の振動が共鳴して 一体となる特殊な波（表面プラズモン）ができるという現象 について、金粒子を含んだステンドグラスが赤色に見える ことを例に出し解説をしました。 前回の内容は主に、“金属の表面に局在した表面プラズモ ン”についての解説でしたが、今回は“金属表面を伝播す る表面プラズモン”についてご紹介します。 回折限界を超えて小さい範囲で光を運ぶ 表面プラズモンは、 “近接場光”の一種です。近接場光とは、光の波長よりも 表面プラズモンの概念 局在型表面プラズモン 微小な物質に光を当てたときに、その表面に発生し自由空間へ伝播していくことが ない、特殊な光のことです。自由空間を飛び交う伝播光とは異なり回折限界 ※ を 超えていくらでも小さな空間に光を閉じ込めることができるという性質があります。 入射光 金属ナノ粒子 表面プラズモンには、伝播せずに微細な金属粒子表面に留まっている「局在型 表面プラズモン」と、金属表面の自由電子の振動が光と結合して金属表面を伝播 金属平面 金属にナノ構造を作製 伝播型表面プラズモン する振動波＝「伝播型表面プラズモン」があります。伝播型表面プラズモンは、金 属の構造を変えることにより、自由に金属表面を伝わせることができるためさまざ まな応用が可能です。 波長サイズ周期構造 09 HAMA HOT! ※伝播光は波の性質を持つために広がる性質があり、波長よりも小さなところには集められない。 その限界のこと。 の世界 波長フィルタへの応用 ① いくらでも小さな空間に光を閉じ込められること ② 金粒子の構造を変えることにより自由に光を伝わせることが できること 光を表面プラズモン に変換するしかけ ナノサイズ周期 構造金属薄膜 表面プラズモン この特長を生かした例が波長フィルタへの応用です。通常の光で は回折限界の制限があるため、波長サイズよりも微細な穴を透過 波長サイズよりも 微細な穴 表面プラズモン を光に戻すしかけ することができません。ところが、伝播光で表面プラズモンを起こ し、表面プラズモンで微細な穴を透過し、表面プラズモンで伝播 光に戻すというプロセスを利用すれば、本来は光が通れないよう 表面プラズモンを介することによって、波長より小さい光を通過 （≒光の異常透過） させ、特定の波長を透過させることができます な微細な穴を透過する不思議な透過現象を見ることができます。 表面プラズモンが発生する波長は、光を照射する金属の構造に よって決まるため、微細な穴の大きさを任意で変えることによりあ る特定の波長のみを効率良く透過させる波長フィルタとなります。 これらを実用的に応用できれば、フォトダイオードアレイとの組み 波長フィルタのイメージ ナノサイズ周期 構造金属薄膜 ガラス 合わせで、分光機能を持った光検出器を実現させることも可能と プラズモンが励起されるためには穴の周期と径が関係しており、 それによって通過する波長が変わってきます 考えられています。 また、特定の構造体に光を照射し、励起した伝播型表面プラズ モンによって光を波長よりも小さいナノ領域に導波することもできま す。金属の構造を任意に変えることによりプラズモンの波を自由に 波長透過スペクトルのシミュレーション例 1.2 ラズモンは透過できるため、結果として、光エネルギーを金属面に 1.0 設けた微小開口部に集光することができます（プラズモンレンズ） 。 プラズモンレンズ 光 プラズモン 金属グレーティング Transmittance （arb.u.) 操ることができ、さらに図のような金属面に設けた狭い開口部もプ Ag薄膜 ：厚さ300 nm ホール周期 ：300 nm、 450 nm、 550 nm ホール径 ：155 nm、 450 nm、 225 nm ホール配列 ：正方格子 0.8 0.6 0.4 0.2 0.0 370 470 570 670 770 Wavelength (nm) 基板 青、 緑、 赤の光のみを透過 HAMA HOT ! 10 不思議なナノホトニクスの世界 このプラズモンレンズは、通常のレンズと同様に、光の広がりを制御す ることができます。弊社は、ハーバード大学との共同研究で、中赤外レー レーザビームの制御 ザである量子カスケードレーザの光取り出し口である端面にレンズを取り付 Nature Photonics誌 2008年9月号 け、通常は波長程度に少し広がるレーザビームのスポット径を制御し、光 レーザ端面を真横から見た図 レーザ出射端面 が広がらないようにすることに成功しています。この技術が応用されること レーザ活性層 によりコリメート不要のレーザが実現できるかもしれません。 基板 レーザ 発振方向 金属 グレーティング 構造による光の制御への挑戦 表面プラズモンは、金属の金属微粒子のサイズや配置、周期性により、 グレーティング構造により、 レーザの 波長よりも小さい開口部から、 まっすぐ レーザを発振させることができます レーザ出射方向 波の速度も制御することができます。非常に遅い波や、波が止まった状態 も作り出すことが可能です。光エネルギーが表面プラズモンに閉じ込めら れているため、遅い光ができあがっていると見てもいいでしょう。光の速度 を制御できるということは、屈折率を制御しているとも言い換えられますし、 光の波長を制御しているとも言い換えられます。 このようにプラズモンの世界では光速すら一定ではなく、構造が光を制 御していきます。材料だけでは成しえなかった光の制御を、プラズモンの介 在により自由に制御できる可能性があります。 浜松ホトニクスは、光の新たな可能性を表面プラズモンの中に見つけ出 半導体レーザのビーム広がりパターン （a.u.） 1 30 （deg） 20 0.8 10 0.6 0 0.4 -10 0.2 -20 -30 -20 -10 0 10 20 30（deg） プラズモンレンズ構造あり 0 （deg） 60 40 20 0 -20 -40 -60 -20 0 20 （deg） プラズモンレンズ構造なし そうと研究に取り組んでいます。浜松ホトニクスの未知未踏への挑戦は続 N.Yu et al, nature photonics vol.2, SEPTEMBER(2008) 564 きます。 POINT □ 表面プラズモンには、 「局在型表面プラズモン」と、 「伝播型表面プラズモン」が存在する □ 微細構造の工夫により、特定の波長のみを表面プラズモンで透過させる波長フィルタができる □ 伝播型表面プラズモンは光エネルギーを微小なサイズに集める、プラズモンレンズとしても使用できる □ 表面プラズモンの特性を利用した、光を制御する新しいデバイスが作成できる可能性がある 11 HAMA HOT ! 光／レーザ総合技術展 Photonix 2011 に 出展いたします ステルスダイシング技術、第24回中日産業技術賞を受賞 （中日新聞社主催、経済産業省後援） 来る4月13日 （水） ～15日 （金） の 3 日間、東京ビッグサイト にて 開 催されます Photonix 2011（フォトニクス）に出展 いたします。弊社光技術の幅 広い応用展開をご紹介いたし ますので、ぜひご来場くださ い。来場事前登録や、Photonix 2011 についての詳しい内容は展 示会公式 WEB サイトをご覧ください。 http://www.photonix-expo.jp/ 「ステルスダイシング技術」（受賞題名：透過性パルスレーザの内部 集光による切断加工システム）が、最高の経済産業大臣賞を受賞し ました。ウェーハ内部にレーザを照射して任意の位置に改質層を形成 させ、テープエキスパンドなど外部応力を加えることにより、チップを小 片化します。水を使わない完全ドライプロセスで環境にやさしく、チッ プ収率は、ブレードダイシングに比べ 23％向上。（設定条件：ウェー ハサイズ 8 インチ、チップサイズ 0.3 mm × 10 mm） 既に、自動車・携帯電話用 MEMS デバイスや LED の量産工場で 採用されています。 出品予定品目 フィルム／ FPD 製造・検査関連製品 ●ミニ分光器 ●マルチチャンネル分光器 PMA-12 ●膜厚測定装置 Optical Gauge シリーズ ● マルチポイントナノゲージ C11295 ● 一体型ナノゲージ C11627 ● マイクロゲージ C11011 ●リニア照射型 UV-LED ユニット LC-L5 ●スポット光源 LC8 ●静電気除去装置 フォトイオナイザ L9490 光通信関連製品 ● Dual&Quad InGaAs PIN フォトダイオード ● InfiniBand 対応 GaAs フォトダイオードアレイ ● 10 Gbps InGaAs PIN フォトダイオードアレイ ● LD モニタ用端面入射型 InGaAs PIN フォトダイオードアレイ ●表面実装型 InGaAs PIN フォトダイオード ● COB タイプ InGaAs フォトダイオード ● 100 Gbps Ethernet 用 25 Gbps ピグテイルモジュール レーザ関連製品 ●レーザ樹脂溶着システム LD-HEATER ● DDL（ダイレクトダイオードレーザ） ● FDL（ファイバディスクレーザ） ●超短パルスレーザ MOIL-ps L11590 ●マイクロチップレーザ ●空間光位相変調器 LCOS-SLM メディカル関連製品 ● PET 用 MPPC ●赤外観察カメラシステム pde-neo ●赤外線酸素モニタ装置 NIRO-200NX ●自律神経機能モニタ装置 イリスコーダデュアル 開発部門責任者のコメント 多くの応募技術の中から最高の賞 を受賞でき、本技術が応用できる 新たな用途に向けた製品開発の励 みとなります。今後も社内のさまざま な技術を結集して、市場要求に合 致した製品群を提供し続けていきた いと考えています。 表彰式が 2010 年 12 月 9 日、 名古屋市の中日パレスにて行われました。 「はやぶさ」プロジェクトに貢献 宇宙担当相と文科相から感謝状 2010 年 12 月 2 日、内閣府で行われた「はやぶさ」功労者感謝状 贈呈式にて、プロジェクトを支援した 117 の大学・企業とともに海江 田万里宇宙開発担当大臣と高木義明文部科学大臣から感謝状の授 与を受けました。 今回の贈呈式は、「はやぶさ」が昨年 6 月に小惑 星由来の物質を地球に持ち帰るという世界初の快挙を成し遂げたこと を受けて行われたものです。 当社は、「はやぶさ」に搭載された近赤外線分光器（NIRS）と蛍光 X 線スペクトロメーター（XRS）の検出部となるイメージセンサを製造 しました。NIRS には、InGaAsイメー ジセンサ（写真左）が内蔵され地 表の鉱物の種類や地表形状を調査 しました。XRS には CCD イメージ センサ（写真右）が内蔵され、地 表物質の組成を調査しました。 HAMA HOT ! 12 電子管 事業部 オートゲート機能付き イメージインテンシファイア 照明の必要なく、昼夜連続して高感度な映像を取得 光量差を問わず高感度な映像取得を可能にしたイメージインテンシファイアのオー トゲート機能を新たに開発しました。これにより、照明がなくても昼夜連続して 24 時間監視するカメラや、微弱光現象の解析などがより簡単にできる顕微鏡用の カメラの開発が可能となります。 応用例 ■ 照明なしで昼夜監視が可能 これまで夜間監視用に限定されていた暗視カメラで、24 時間連続して映像を取得で きるため、飛行場や高速道路などの照明のない場所での監視カメラの開発が可能と なります。 ■ 科学研究用顕微鏡の使い勝手が向上 顕微鏡での運動体の観察、蛍光寿命の観察、生物発光・化学発光イメージングな どの現象の解析には、イメージインテンシファイアが使用されていますが、光出力をフィ ードバックするオートゲート機能は、微弱な蛍光を観測するときも照明下での焦点合わ せができるようになり、光電面が焼きつきにくく安心して使えるようになります。 お問合せ 営業本部 国内統括部 ※お問合せ先の詳細につきましては、冊子裏面をご覧ください。 固体 事業部 InGaAs リニアイメージセンサ G11135 シリーズ InGaAs エリアイメージセンサ G11097-0606S 小型、低価格で高性能な近赤外用イメージセンサ 0.95 ～ 1.7μm に感度を持つ近赤外域用のリニアイメージセンサとエリアイメージ センサです。異種接合技術を用い、InGaAs フォトダイオードアレイと信号処理回 路のシリコン CMOS 回路を上下に積み重ねて接合することにより小型化・低価 格化を実現しました。 用途 G11135 シリーズ ■ 異物検査 ■ 農産物検査 G11135 シリーズ G11097-0606S G11097-0606S ■ 熱画像モニタ ■ レーザビームプロファイラ 断面図 （G11135 シリーズ） お問合せ 営業本部 国内統括部 ※お問合せ先の詳細につきましては、冊子裏面をご覧ください。 13 HAMA HOT! 型名 G11135シリーズ G11097-0606S 単位 画素数 256 512 64 × 64 画素 画素サイズ 50 × 50 25 × 25 50 × 50 mm 画素ピッチ 50 25 50 μm 1.55 μm G11135-256DD G11135-512DE 最大感度波長 1.55 データレート Max. 5 ― MHz 冷却 非冷却 1段電子冷却 ― 受光窓 CMOS回路 バンプ InGaAs フォトダイオードアレイ ア ン ケ ー ト に ご 協 力 く だ さ い 編集後記 下記アンケートにお答えいただいた方、先着 本号の表紙のテーマになっている浜松まつりは、浜松 市の伝統行事で、一家に男の子が生まれると、端午の 節句に合わせ、町名・家紋・子どもの名前を入れた大 凧を揚げて、子どもの誕生を祝い、成長を祈ります。 昔は男の子が生まれたときのみの行事でしたが、最近 は女の子の名前を入れる凧も増えてきました。 100名様に、ロゴ入り「消える蛍光ペン」を 凧揚げ会場に行くと、凧同士が絡みあって、蛇行して いる様子をよく見ます。これを「凧揚げ合戦」といい、 相手の凧糸を擦り切って落としたほうが勝ちとなり、よ り子どもの成長が望めると期待されます。戦法（凧糸 の切り方）もいくつかあり、 なかなか奥が深いようです。 プレゼントいたします。 個人情報のお取扱いについて 本アンケートによって集めた個人情報は、弊社からのプレゼント送付や、より良い誌面づくりに反映するた めに利用いたします。それ以外にも、弊社の販売促進に関わる情報をお客様にお届けする場合、もしくは何 らかの理由でお客様に連絡をとる必要が生じた場合に利用いたします。 色とりどりの凧が五月の空に舞う光景は、鮮やかで美 しいです。夜には街中で絢爛きらびやかな屋台がおは やしに合わせて進み、祭りラッパの音に合わせて提灯 を持った人々が行進する「激練り部隊」が後に続きます。 大勢の人が参加する街中での「激練り」で地響きが起 こることもあり、その迫力には圧倒されます。 下記のアンケートにお答えください。 そろそろラッパやおはやしの練習が始まるころ。音色 を聞いて気分を高めるために、外を散歩しようかな！ と思う今日このごろです。 □面白かった □つまらなかった □どちらとも言えない 浜松まつりはゴールデンウィークに行われます。まだ 予定が埋まっていない方は、昼は中田島砂丘で凧揚げ 合戦、夜は街中でのおはやしと練りを見学されてみて はいかがでしょうか？ （編集部／清水） 表紙写真について 表紙の写真は浜松まつりの雰囲気が楽しめる見学施設、 浜松まつり会館です。初の室内撮影にチャレンジしま した。凧揚げ合戦の雰囲気が伝わりましたでしょうか。 浜松まつりは毎年 5 月 3 日から 5 日の期間限定ですが、 一見の価値がある凧や御殿屋台を一年中見学できます。 こちらの浜松まつり会館内の一室で凧揚げ合戦に使用 される凧糸を麻から紡いで製造しています。各町の凧 糸の強さを平等に保つため、浜松まつり会館のもの以 外を使用することはできないそうです。 表紙のように大きなホールで展示された多くの大凧の 勇壮さもさることながら、真っ暗なスペースに浮かび 上がる御殿屋台の美しさも素晴らしいです。展示して あったのは浜松市制 80 周年記念の御殿屋 台でしたが、くしくも 今 年 は 浜 松 市 制 100 周年で記念式典や数多 くの記念事業が予定さ れているそうです。 「 HAMA HOT !」について伺います。 Q. 過去に HAMA HOT! をご覧になったことはありますか？ □ない □いくつか読んだ □すべて読んだ Q. 今号の掲載内容について Q. 今号の「HAMA HOT !」で興味を持たれた項目はどれですか？（複数回答可） □表紙 □ Quantaurus-QY □ LC-L5 □ HAMATECH □不思議なナノホトニクスの世界 □ TOPICS □ New Products（新製品ニュース） □その他［ ］ Q.「HAMA HOT !」で今後とりあげて欲しい情報やご意見などありましたら、 ご記入ください。 浜松ホトニクスについて伺います。 Q. 浜松ホトニクスの製品をお使いですか？ □現在使用している □過去に使用したことがある □使用したことがない Q. 浜松ホトニクス自体のイメージをお聞かせください。 技術力がある 顧客へのサービスが厚い 信頼できる 親しみが持てる □はい □いいえ □どちらとも言えない □はい □いいえ □どちらとも言えない □はい □いいえ □どちらとも言えない □はい □いいえ □どちらとも言えない Q. 浜松ホトニクスのイメージを自由にご記入ください。 Q. 今後も引き続き「HAMA HOT !」の送付をご希望ですか？ □はい □いいえ 御名前（フリガナ） 勤務先（または学校）名 役 職 御住所 〒 TEL （ ） − E-mail ありがとうございました。 発行元 〒 430-8587 静岡県浜松市中区砂山町 325-6 日本生命浜松駅前ビル TEL：053-452-2141 FAX：053-456-7889 jp.hamamatsu.com キリトリ線 製品についてのお問合せは、お近くの営業所までご連絡ください POST CARD 営業本部 国内統括部 料金受取人払郵便 浜北支店承認 仙台営業所 434 8790 〒 980-0011 宮城県仙台市青葉区上杉一丁目 6-11 日本生命仙台勾当台ビル 2 階 TEL：022-267-0121 FAX：022-267-0135 筑波営業所 〒 300-2635 茨城県つくば市東光台五丁目 9-2 TEL：029-847-3821 FAX：029-847-8654 201 東京営業所 〒 105-0001 東京都港区虎ノ門三丁目 8-21 虎ノ門 33 森ビル 5 階 TEL：03-3436-0491 FAX：03-3433-6997 差出有効期間 平成23年10月 31日まで （切手不要） 中部営業所 〒 430-8587 静岡県浜松市中区砂山町 325-6 日本生命浜松駅前ビル 4 階 TEL：053-459-1112 FAX：053-459-1114 大阪営業所 〒 541-0052 大阪府大阪市中央区安土町二丁目 3-13 大阪国際ビルディング 10 階 TEL：06-6271-0441 FAX：06-6271-0450 静岡県浜松市浜北区平口5000 キリトリ 線 浜松ホトニクス株式会社 行 FSC認証紙と植物油インキを使用しています。